隋唐时代,境内即有佛教,如建于唐代的安崖乡金佛寺。宋元时,红石峡已建有红山寺。明成化年后,佛教兴盛。至清初,仅榆林城区先后兴建有寿宁寺、戴兴寺、洪济寺、香云寺、圆觉寺、观音庵、千佛寺、普济寺、龙泉寺、准提寺、榆阳寺、金刚寺、延寿寺、定慧寺、万佛楼等寺庙达40多处。明代,蒙古人频繁入境掳掠,但往往见“奉佛之家,则叩头退避,并贴条于门首,告后来之蒙人不侵扰”,故家家设佛龛供佛,成为世俗。
榆林寺僧分临济、曹洞两大宗派,临济宗以戴兴寺、寿宁寺、准提寺为主,曹洞宗以定慧寺、龙泉寺、千佛寺、香云寺为主,城外各乡僧人均系这两佛宗之演派。民国23年(1934)全县有僧人189人。民国35年(1946)10月,成立榆林县佛教支会,入会僧人112名(含居士8名)。1953年,全县有寺庙106处,僧众107人,其中和尚95人、尼姑10人、居士2人。1957年对宗教界进行改造,保留住僧尼寺庙30处。到1958年先后有22名僧尼还俗,67名僧人参加人民公社从事农业生产;将榆林城17名僧人集中戴兴寺居住,并建立“戴兴寺佛教生产组”,由该寺主持僧人一真领导从事种菜、养猪、积肥。这期间,青云山寺庙50多岁的住持定保(俗姓高,1985年去世)带4名僧人同当地农民植树2625亩,将寺庙四周荒山绿化;清泉区龙华寺71岁的老僧昌月带5名僧徒修出5亩水地、种山地10多亩,栽果树5亩,年售余粮1200多公斤,这些僧人多次被评为宗教界先进工作者。1964年至70年代,一切佛事活动被禁止。1980年,戴兴寺、青云山寺观恢复佛教活动,时有僧人共7人,主要拜佛诵经或复修寺庙和办庙会。群众信佛则主要是乞求平安。1994年全市有僧人4名(其中3名由外地而来行修),佛教徒1200名。
过去,境内僧人大多为诵经应事(丧事)和尚,能皈依佛法者极少。明天启年间,寿宁寺清忠和尚,性慧学博,可引藏语拟议六经,诗翰亦精。明末定慧寺普音和尚,博涉儒书,工诗词善书法,苦心参禅,卦锡定慧寺;洪济寺住持来润和尚,勤学儒书,旁通三昧,工诗词书法,专心释典,检阅藏经七载,禅业精进,有注释《金刚经》卷,多以儒书参解。清康熙年间,戴兴寺五素大师智福,为临济派正宗,佛法精通;极乐寺吴晏如和尚,曾到京都从学佛师十余年,陕北各县请其传戒颇多。清道光年间,定慧寺主持心初和尚,曾由镇台送到北京受戒参禅,回归后,每逢传戒或到万佛楼行佛事都乘坐镇台官的大轿,并有侍从打旗、伞、扇等相随,故人们流传俗语;“装模作样,抬到万佛楼上”。清同治、光绪间,戴兴寺胡德成禅师学博、讲经,道行深;龙泉寺住持慕和尚募化修葺新明楼;定慧寺童和尚放戒,受戒者约30余人。民国初,万佛楼住持周宽和尚(俗姓陶,曾为僧刚司,故又称陶官府)化缘集资,复修被焚万佛楼;千佛寺住持西来和尚(俗姓韦,本市三岔湾人)曾在五台山受戒,民国17年(1928)任榆林县佛教会会长,传戒18名,善书法,民国24年(1935)“坐化”,出灵时,井岳秀亲往祭奠;戴兴寺主持行宽和尚,俗姓解,榆林城人,工诗、书,博通释典,曾任榆林佛教会长,寺内办佛教小学;金刚寺主持善元和尚,毕业于北京佛教学校,精通佛法。50年代戴兴寺徐大旭和尚,本县花园沟人,后在西安还俗,现任中国佛教协会陕西分会会长。